Lensa F-Theta umumnya digunakan bersamaan dengan cermin pemindai galvanometer dalam sistem pengukiran, pemotongan, dan penandaan laser. Biasanya distorsi F-Theta lensa dijaga agar kurang dari 1% sehingga mampu menghasilkan titik yang tepat pada bidang datar di bidang gambar.
Toleransi Diameter: +0/-0,13 mm
Toleransi Ketebalan: ±0,25 mm
Toleransi Panjang Fokus: ±2%
Variasi Ketebalan Tepi (ETV): ≤3 menit busur.
Bukaan Jelas: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Kualitas Permukaan: 40-20 SD
Lapisan AR: R<0,2% per permukaan @10,6μ